Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах

Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики AlO, HfO, TaO, ZrO, TiO, твердые растворы (HfO)(AlO). Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO, оксинитрида SiON и нитрида SiN кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.