Pdf-книга
МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники
Цена : 749 руб.
-
Автор: А. Мармалюк
-
Жанр: Техническая литература
О книге
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев , затронуты вопросы моделирования процессов.